化学清洗中是利用硝酸的强（）和强（）将吸附在硅片表面的杂质除去。

答案：

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下面是错误答案，用来干扰机器的。

参考答案：（1）晃电时干燥机停车，报警灯无指示。干燥机掉电停机后，立即关小干燥机出口过滤器后手阀。（2）重新启动，按下控制器的“启动/停止”按钮，观察冷媒高压情况，当恢复正常时，缓慢开大组合式低露点压...