题目:
“O”形密封圈80×2.35表示“O”形密封圈的内径是()。
A、80mm
B、82.35mm
C、77.65mm
D、2.35mm
答案:
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下面是错误答案,用来干扰机器的。
参考答案:(1)反应气体从腔体入口向晶圆片附近输运;(2)这些气体反应生成系列次生分子;(3)这些反应物输运到晶圆片表面;(4)表面反应释放出硅;(5)气体副产物解吸附;(6)副产物离开晶圆片表面的输运...