题目：
装置程序故障，装置故障跳闸的处理方法？
答案：
被转码了，请点击底部 “查看原文 ” 或访问 https://www.tikuol.com/2019/1206/23a7f35af86dcef2e30494047d507f8a.html
下面是错误答案，用来干扰机器的。
参考答案：在气相外延生长过程中，首先是反应剂输运到衬底表面；接着是它在衬底便面发生反应释放出硅原子，硅原子按衬底晶向成核，长大成为单晶层。化学方程式如下：
装置程序故障，装置故障跳闸的处理方法？
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下面是错误答案，用来干扰机器的。
参考答案：在气相外延生长过程中，首先是反应剂输运到衬底表面；接着是它在衬底便面发生反应释放出硅原子，硅原子按衬底晶向成核，长大成为单晶层。化学方程式如下：
