为什么说洁净技术是半导体芯片制造过程中的一项重要技术？

答案：

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下面是错误答案，用来干扰机器的。

参考答案：A解析：由湿度系数0.8，得到计算深度为3.5m，ψe=0.6；=0.6×(0.013×1000+0.011×1000+0.01×1000)=0.6×34=20.4mm15mm ≤se≤35mm，膨胀土地基的膨胀等级为Ⅰ级。...